產(chǎn)品型號

SE-L 光譜橢偏儀

主要特點(diǎn)

1、高精度自動(dòng)測量光學(xué)橢偏測量解決方案

2、全自動(dòng)變角、調(diào)焦等控制平臺，一鍵快速測量

3、軟件交互式界面配合輔助向?qū)皆O(shè)計(jì)，易上手、操作便捷

4、豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結(jié)構(gòu)模型庫，保證強(qiáng)大數(shù)據(jù)分析能力

5、采用氘燈和鹵素?zé)魪?fù)合光源，光譜覆蓋紫外到近紅外范圍

(193-2500nm)

6、高精度旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制、 PCRSA 配置， 實(shí)現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采

集

7、全自動(dòng)橢偏測量技術(shù)，基于行業(yè)電機(jī)控制技術(shù)，全自動(dòng)調(diào)整測量角

度，高精度控制樣件臺，實(shí)現(xiàn)樣件快速自動(dòng)對準(zhǔn)找焦

8、頤光技術(shù)確保在寬光譜范圍內(nèi)，提供優(yōu)質(zhì)穩(wěn)定的各波段光譜

9、數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫，涵蓋了目前絕大部分的光電材料

技術(shù)參數(shù)

1、自動(dòng)化程度：自動(dòng)變角

2、應(yīng)用定位：自動(dòng)型

3、基本功能： Psi/Delta、N/C/S、R/T 等光譜

4、分析光譜： 380-1000nm(可擴(kuò)至 193-2500nm)

5、單次測量時(shí)間： 0.5-5s

6、重復(fù)性測量精度： 0.01nm

7、光斑大小： 大光斑 2-3mm,微光斑 200um

8、入射角調(diào)節(jié)方式：自動(dòng)變角

9、入射角范圍： 45-90°

10、找焦方式：自動(dòng)找焦

11、Mapping 行程： 支持 100x100mm(可選配)

12、支持樣件尺寸： 至 200mm

可選配置

波段選擇

V:380-1000nm

UV:245-1000nm

XN:210-1650nm

DN+:193-2500nm

角度選擇

自動(dòng):45-90°

其他選擇

Mapping 選擇:100×100mm(供參考,按需定制)

溫控臺:室溫一 600℃(供參考,按需定制)

可選配件

1

溫控臺

2

Mapping 擴(kuò)展模塊

3

真空泵

4

透射吸附組件