產(chǎn)品型號

1200℃開啟式立式爐 OTF-1200X-80-VT

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3 、氣： 如作為 CVD 系統(tǒng)使用，需自備氣源 （標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 100kg 以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、雙層殼體，配有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體表面溫度<55℃。

2、開啟式爐體更方便于爐管的更換。

  3、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高反射率和潔凈度，同時(shí)延長使用壽命。

4 、PID 控制器， 可以設(shè)置 30 段升降溫程序。

5 、已通過 CE 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1 、電源： AC 220V    50Hz    6KW

2、石英管： 外徑 Ø80mm ，內(nèi)徑 Ø72mm ，長 1000mm

3、加熱元件： 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯

 4、加熱區(qū)域： 440mm

 5、恒溫區(qū)域： 200mm

 6 、工作溫度：  1200℃（<1h）， 連續(xù)工作 1100℃

 7、升降溫速率： 20℃/min

 8、控溫精度：± 1℃

 9、真空度： 10-2torr （機(jī)械泵）， 10-5torr  （分子泵）

 10、漏氣率： <5mtorr/min

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 550mm×380mm×520mm；重量： 80kg

可選配件

1、鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm

2、防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)

3 、KF25 轉(zhuǎn)接頭

4 、VCR 雙卡套接頭

5、滑軌法蘭

6、移動爐架